개발 목적
OLED 소재의 진공 증착을 위한 R&D 장비
구현 기능
주요 사양
- Chamber
- Stainless steel (EP) chamber
- Chamber Dimension
- 1324.5mm X 1124mm X 1742.5mm
- Vacuum Pump
- Turbo Pump (400l/s) & Rotary Vane Pump (400L/m)
- Vacuum Gauge
- Cold Cathode & Convection Gauge
- Substrate
- up to 4” O.D. / PCW Cooling Type
- Deposition Source
- Effusion cell 2ch, thermal 2ch (4ch)
- System control
- Semi auto control by Touch PC (TLP0105)
- Safety
- Alarm & Interlock
관련 기술 분야
- 반도체, 나노소재, 표면 공정
상담 시 검토할 조건
- — 증착 재료와 시료 조건
- — 필요한 기능과 제어·데이터 연동 범위
- — 설치 여건과 목표 일정
제품별 공급 가능 여부와 사양은 문의해주세요. 구체적인 구성과 기능은 연구 목적과 실험 조건에 맞춰 협의합니다.
공개된 개발 경험을 바탕으로 소개합니다. 신규 요청의 사양과 적용·개발 범위는 별도 검토 후 협의합니다.
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